该晶圆制做厂坐落在华南我国,重点工作8厘米光电器件晶圆,每日废液污染物物量约800吨。因为工作操作过程中选用不少氢佛酸实现晶圆蚀刻,会导致废液中氟化物氧化还原电位可以达到200-300mg/L,远超我国污染物物标准(10mg/L以上)。
污废水 部分及源于
工业废水包括出于两个阶段:
晶圆蚀刻加工过程
:含高氧化还原电位氟化物(HF)、氰化钠及一少部分天价属
化学反应机器抛光剂(CMP)废水处理方法
:含納米级硅小粒、设计络合剂
设施设备清理生活污水
:含异丙醇、氯离子等巧妙物
操作加工程序
进行"化学反应沉定+水泥混凝土沉定+深入吸附"三級补救机系统:
四级正确处理
:加药氯化钙和氢防氧化钙,达成氟化钙沉淀出的,氟化物我们要除率达85%
二次元治理
:调用PAC(整合氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),弄掉溶液态的废水
三级分销治疗
:根据多物质全自动过滤器器和活性酶炭树脂吸附,喷水氟化物溶液浓度平稳在8mg/L下述
关健机 还有:pH重新可以调节系统的、斜管积淀池、板框压滤机厂家(飞灰甩干)。
从而特效
产品启用几年评估数据展示展示:
氟化物大概溶度:7.2mg/L(降到发展中国家规范标准)
COD的还原率:92%
生活污水含水量率:≤65%
年环保再生能源回收氟化钙副好产品约150吨,保证 能源化通过