该厂为8厘米晶圆研发线一起的超纯净水装置，一天到晚产生了含硅废水加工方法150吨。废水加工方法中虽无高价属，但硅占比高易结渣，且电阻值率需做到18MΩ·cm才可使用。增加了加工施工工艺无发具备新施行的《光学工业生产水弄脏物废气标淮》（GB39731-2020）尤为废气卫生防护距离。 废水处理方法营养成分特征 主要是环境污物 ：固体硅（200-300mg/L）、科粒硅（粒度0.1-1μm） 非常规必须 ：TOC<10μg/L，硼占比<5μg/L 水源特征 ：低导电率（<50μS/cm）但硅氧化物要素简化 处置鑫霖环保工作流程 多元化进行"梯级膜分开+电去正离子"团体工艺流程： 微滤预工作 ：1μm陶瓷厂家膜截拦大顆粒硅，通量保证80LMH 亚铁离子交易光敏树脂 ：D201大孔树脂胶考虑性物理吸附硅酸团伙 二级考试RO软件系统 ：第一个段回收分类处理率60%，最后段使用高脱硼膜部件 EDI电去铁离子 ：直流电压强度2A/m²，持续保持取除稳定度阴阳离子 紫外线臭氧消毒 ：254nm紫外光线极量40mJ/cm² 技术应用突出点 建设常用阻硅剂（生物碳胺类分手后复合物），延迟膜被污染的过渡期3倍 EDI板块信息化流道设计的，硅去掉率完善至99.8% 再线硅研究分析仪器（检测位置0.1-500μg/L）实现了深度贫困管控 操作取得成效 经三是方验测： 总硅从280mg/L减至0.05mg/L 硼硫含量从8μg/L低于0.3μg/L 整体环保再生资源回提取率从原40%提高至68% 膜换新的周期延时至5年，年电脑运行投入消减35%