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硅烷废水处理案例|硅烷废水处理方法

某半导体材料心片创造厂在晶圆制造具体步骤中,用到硅烷参与硅外延性植物生长,废气干洗塔有高渗透压含硅生活污水。生活污水体现了pH上下波动大(2-11)、硅分量高的特征 ,传统艺术治理的办法易出现了硅垢梗塞情况。 化工废水材料及源于 废水处理具体组成为: 消融性硅酸盐 :SiO₂酸度达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢腐蚀钠 :清洗塔强酸强碱清洗液残渣 颗粒状硅 :納米级SiO₂悬浊液 痕量砷 :配料杂物带进 正确处理工艺设计工作流程 科学创新利用"二级中合+膜过滤系统+汽化凝结"艺: 第一与 :用CaO调低pH至4-5,转换成硅酸钙沉淀物中,硅取除率60%。 二级考试采和 :加Na₂CO₃将pH提高了至9,进两步凝固残余硅,电容串联用镁剂除砷。 反渗透膜模式 :0.02μm工业陶瓷膜滤出纳米级级硅颗粒剂,通量增强在80LMH。 MVR化掉器 :精炼高盐生产废水,凝结出Na₂SO₄副货品,水使用率超90%。 后面郊果 总硅从1500mg/L降为5mg/L下类 砷纯度从0.8mg/L低于0.01mg/L 系统化无水垢自动运行超越2年 每一年的环保再生资源回收浓盐酸钠硫化锌约800吨

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