某半导体技术开发工厂因晶圆洗掉制作工艺制造含氨化工废水,出水量200吨/天。化工废池中除氯离子外还含有氟化物和进样器高价属,治理难度很大大。位置释放规定条件氯离子<5mg/L,氟化物<3mg/L。
工业废水组成及来自
晶圆的洗涤污水(基本来源于):含挥发酚200-300mg/L,氟化物50-80mg/L
刻蚀生产工艺废液:含少量铜、镍等巨资属,pH值波动性大
CMP磨细生活污水:含硅颗料及氧化还原电位
工作工序标准流程
应用"化学上的沉淀出的+膜剥离 +折点氯化"组装的工艺:
预加工
:添加CaCl2除氟,掌握pH在7.5-8.
反渗透膜设计
:彻底清除0.01μm左右粒子物
反渗入浓缩咖啡
:将氧化还原电位萃取至1000mg/L综上所述
折点氯化
:精确度高保持氯添加量,将化学需氧量图片转换为氢气
阴阳离子变换
:安全保障巨资属符合标准
决定性使用效果
高锰酸盐指数稳定的<3mg/L,氟化物<1mg/L
高价属含量超过判断限
水工业废水处理率达75%
污泥处理生产量增多40%